v2 — 가격·수율·마진 데이터 출처 확정 후 재계산. TSMC N2 $30K, Samsung 2nm $20K, Samsung 수율 55-60%, Samsung Foundry 적자 상태 반영.
2026년 시점에서 가성비 + 양산검증 + 2nm 적합성의 균형점. Q1 2026 업그레이드로 WPH 230 달성, $180M 대비 $0.78M/wph로 Low-NA 클래스 최고 효율. EUV 단노출로 2nm 로직·DRAM 핵심 layer 처리. ASML 2026 출하 계획 60+ 대 중 70% 이상이 이 모델.
NXE:3800E × 다수 + NXT:2100i (비크리티컬). 2026 양산 핵심.
EXE:5200B 1~2대. Intel 14A·Samsung 1.4nm 동일 도입. ASML 2026 10대 출하 계획.
NXT:2050i/2100i. 38~40nm 해상도. 3nm 라인도 80% layer는 DUV.
6개 평가요소 × 10점 만점, 가중치 합계 100%
| 장비 | 해상도 25% |
WPH 20% |
가성비 20% |
오버레이 15% |
성숙도 10% |
미래적합 10% |
총점 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| NXE:3800E 1위 | 7 | 9 | 8 | 8 | 10 | 9 | 8.25 |
| EXE:5200B 2위 | 10 | 7 | 4 | 10 | 7 | 10 | 7.90 |
| EXE:5000 3위 | 10 | 7 | 5 | 8 | 6 | 9 | 7.60 |
| NXT:2100i | 4 | 10 | 10 | 7 | 10 | 5 | 7.55 |
| NXT:2050i | 4 | 10 | 10 | 7 | 10 | 5 | 7.55 |
| NXE:3600D | 6 | 6 | 7 | 8 | 10 | 6 | 6.90 |
| 장비 | 가격 | WPH | 오버레이 | $/wph | 출처 |
|---|---|---|---|---|---|
| EXE:5200B (High-NA 2세대) | $380M | 175 | 0.7nm | $2.17M | Tom's HW 확정 |
| EXE:5000 (High-NA 1세대) | €270M ($295M) | ~185 | ~1.0nm | $1.60M | ASML 공식 |
| NXE:3800E (Low-NA 3세대) | $180M | 230 (Q1'26) | 1.1nm | $0.78M | SmBom 확정 |
| NXE:3600D (Low-NA 2세대) | $140-160M | 160 | 1.1nm | $0.94M | 업계 추정 |
| NXT:2100i (DUV ArFi) | $80-100M | 295 | 1.3nm | $0.30M | 업계 추정 (공식 미공개) |
| NXT:2050i (DUV ArFi) | $65-85M | 295 | ~1.4nm | $0.25M | 업계 추정 (공식 미공개) |
| 파운드리 | 2nm wafer 가격 | 수율 (2026) | 월간 capa | 주요 고객 |
|---|---|---|---|---|
| TSMC N2 | $30,000 | 65-75% | 60K wafer/월 (Q4 2026) | Apple A20/M6, NVIDIA Rubin Next, AMD |
| Samsung 2nm SF2 | $20,000 (33% 할인) | 55-60% | 10-15K wafer/월 | Tesla Dojo2, Qualcomm 일부, 자체 Exynos |
| Intel 18A | $25,000 (추정) | ~50% (램프업) | ~5K wafer/월 | Intel 내부 (Panther Lake), 일부 외부 |
| 제품 | 공정 | 다이 면적 | 다이/웨이퍼 | 수율 | 양품 다이/wafer | 다이 ASP | 웨이퍼 매출 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| NVIDIA B200 (2024-2026) | TSMC 4NP | ~800mm² ×2 | 60 | 60-75% | ~40 | ~$3,200 | $128K |
| NVIDIA Rubin (2H 2026) | TSMC 3nm | ~750mm² ×2 | 66 | ~75% | ~50 | ~$3,800 | $190K |
| Apple A20/A20 Pro (Q3 2026) | TSMC 2nm | ~110mm² | 540 | 75% | 405 | $120 | $48.6K |
| Apple M6 (Q4 2026) | TSMC 2nm | ~150mm² | 370 | 75% | 277 | $180 | $49.9K |
| Qualcomm SD8 Gen 5 (2026) | TSMC 2nm | ~120mm² | 450 | 75% | 337 | $110 | $37.1K |
| Samsung Exynos 3000 (2026) | Samsung 2nm | ~120mm² | 450 | 55% | 247 | $80 | $19.8K |
| HBM4 12-Hi stack (2026) | SK Hynix 1c | ~120mm² (base) | 450 | 85% | 382 | ~$45 (die) | $17.2K (die) |
HBM4 stack 가격은 mid-$500(약 $550). stack 당 base die 1 + memory die 12개 → wafer 1장 당 약 30 stack 생산 → wafer 매출 ~$45K 수준 (stack 기준).
2nm wafer 단가와 영업이익률이 파운드리마다 다르므로 시나리오를 분리.
| 항목 | 수치 | 근거 |
|---|---|---|
| 이론 WPH | 175 | @50 mJ/cm² 도즈 |
| 운영 시간/년 | 8,760 h | 24/7 × 365 |
| 유효 가동률 | 70% | EUV 평균 (PM·마스크 교체·calibration) |
| 유효 운영시간 | 6,132 h | 램프업+안정화 가중 평균 |
| 연 wafer pass | 1,073,100 | 175 × 6,132 |
| 2nm EUV layer 수 | ~20 | High-NA 도입으로 일부 layer 통합 가능 |
| 분담 wafer outs/년 | 53,655 | 1,073,100 ÷ 20 |
| 제품 | 매출/wafer | 웨이퍼 원가 | 원가율 | wafer 마진 | 주요 노트 |
|---|---|---|---|---|---|
| NVIDIA Rubin (TSMC 3nm) | $190,000 | $18,000 | 9.5% | $172,000 | 2H 2026 양산, dual-die 750mm², HBM4 별도 |
| NVIDIA B200 (TSMC 4NP) | $128,000 | $16,500 | 12.9% | $111,500 | 2024-2026, COGS $6,400/chip 검증 (Epoch AI) |
| Apple A20 (TSMC 2nm) | $48,600 | $30,000 | 62% | $18,600 | iPhone 18 Pro 2026 가을 |
| Apple M6 (TSMC 2nm) | $49,900 | $30,000 | 60% | $19,900 | MacBook Pro 2026 Q4 OLED 리디자인 |
| Snapdragon 8 Gen 5 (TSMC 2nm) | $37,100 | $30,000 | 81% | $7,100 | 2nm 사용 시 마진 박함, 일부 3nm 유지 가능성 |
| Exynos 3000 (Samsung 2nm) | $19,800 | $20,000 | 101% | −$200 | 수율 55% → wafer당 적자, Samsung 내부 보조 |
| HBM4 stack 매출 환산 | ~$45,000 | $12,000 | 27% | $33,000 | 1c DRAM 노드, SK Hynix 주도 |
| 연도 | Low-NA EUV | High-NA EUV | ASML 총매출 | 주요 마일스톤 |
|---|---|---|---|---|
| 2026 | 60-65 units | 10 units | €36-40B | NXE:3800E 230 wph 업그레이드, EXE:5200B 본격 출하 |
| 2027 | 80-85 units | 15-18 units | €45-50B | EXE:5200C 출시 (190 wph), Intel 14A 양산, Samsung 1.4nm 시생산 |
| 2028 | 85-90 units | 22-25 units | €55-58B | EXE:5400 출시 (3세대 High-NA, ≥210 wph), TSMC A14 (1.4nm) 양산 |
| 2029 | 90+ units | 30+ units | €58-62B | EXE:5400D (가성비 개선), Samsung 1.4nm 양산 |
| 2030 | 85-90 units | 35-40 units | €44-60B | Hyper-NA EUV EXE:5600 발표 (NA 0.75), TSMC 1nm (A10) 진입 |
| 연도 | TSMC | Samsung | Intel | 주력 칩 |
|---|---|---|---|---|
| 2026 | N2 (양산) | SF2 (양산) | 18A (양산) | Apple A20/M6, Snapdragon 8 Gen 5, NVIDIA Rubin (3nm) |
| 2027 | N2P (성숙) | SF2P | 14A (양산 시작) | Apple A21/M7, NVIDIA Rubin Ultra, Intel Nova Lake |
| 2028 | A14 (1.4nm 양산) | SF1.4 (양산) | 14A 풀가동 | NVIDIA Feynman (예상), Apple A22 |
| 2029 | A14P | SF1.4P | 10A (R&D) | Next-gen AI accelerator |
| 2030 | A10 (1nm 양산) | SF1.0 | 10A (양산) | 2nd-gen Hyper-NA 진입 가능성 |
EXE:5200B 대비 20-30% 인상, throughput 30% 증가
EUV 1세대 도입 시 가격 패턴 재현 — 초기 R&D 가격
N2 대비 35-50% 인상. Apple/NVIDIA 독점 수주 예상
HBM4 대비 40-80% 인상, 24-Hi 적층
노드 성숙도 따라 20% 하락, capa 확대
2024 $80B 대비 6-9배, ASML 매출 견인의 핵심
| 파운드리·시나리오 | 연 wafer outs | 연 매출 | 연 영업이익 | 5년 누적 이익 | 5년 ROI | 회수기간 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| TSMC N2 (정상) | 53,655 | $1.61B | $644M | $3.22B | 8.5× | 7개월 |
| TSMC N2 (램프업) | 38,000 | $1.14B | $365M | $1.83B | 4.8× | 12-13개월 |
| Samsung (Tesla/Qualcomm 수주 성공) | 53,655 | $1.07B | $160M | $800M | 2.1× | 29-32개월 |
| Samsung (현 추세 유지) | 35,000 | $700M | $30-50M | $150-250M | 0.4-0.7× | 미회수 |
| Intel 14A (Foundry+자체) | 40,000 | $1.0B | $200M | $1.0B | 2.6× | 23개월 |